반응형 반도체 용어1 반도체에서 말하는 EUV 에 대해 EUV 극자외선 extreme ultraviolet 파장의 광원을 이용해 반도체 원판인 웨이퍼에 회로를 그리는 제조공정 기존 공정에 적용중인 불화아르곤 ArF 보다 파장이 13분의 1 수준으로 짧아 미세한 패턴을 새길 수 있다 공정단계를 줄여 원가절감, 제품의 크기를 작게 만들 수 있다 2019. 10. 22. 이전 1 다음 반응형