반응형 반도체2 반도체에서 말하는 EUV 에 대해 EUV 극자외선 extreme ultraviolet 파장의 광원을 이용해 반도체 원판인 웨이퍼에 회로를 그리는 제조공정 기존 공정에 적용중인 불화아르곤 ArF 보다 파장이 13분의 1 수준으로 짧아 미세한 패턴을 새길 수 있다 공정단계를 줄여 원가절감, 제품의 크기를 작게 만들 수 있다 2019. 10. 22. 반도체 상식 사전, 핀펫(finfet) 과 GAA 핀펫 구조 회로의 3면이 전류를 제어하는 게이트에 접촉 GAA 회로의 모든 면이 게이트에 접촉 삼성전자가 3나노제품부터는 핀펫 구조에서 GAA 방식을 이요한다고 합니다 2019. 7. 4. 이전 1 다음 반응형